美国颇尔PALL CC3LG02H13 半导体氮气终端滤芯更换案例 应用场景:芯片封装氮气终端精密过滤滤芯更换

 

美国颇尔PALL CC3LG02H13 半导体氮气终端滤芯更换案例

应用场景:芯片封装氮气终端精密过滤滤芯更换

某封测厂氮气纯化采用CC3LG02H13(0.01μm PTFE)滤芯,要求≥0.01μm 颗粒<0.1pcs/m³。原滤芯寿命仅6个月,压降大、能耗高。2024年9月执行更换:关闭氮气总阀→泄压至常压→拆卸过滤器外壳→取出旧滤芯→用高纯氮气吹扫壳体→检查金属密封面→新滤芯在洁净柜拆封→安装到位→密封→缓慢开启氮气→检漏→监测压差。更换后初始压差0.01MPa,寿命12个月,更换压差0.1MPa。氮气露点<-70℃,油雾<0.001ppm,键合缺陷率降低 70%。更换全程防静电、无尘,壳体洁净度 Class 10,无金属溶出,符合 SEMI标准。

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